空分分離在稀有氣體提純中應(yīng)用廣泛。其原理是先將空氣壓縮、冷卻液化，利用稀有氣體與氮、氧等組分沸點(diǎn)差異，在精餾塔內(nèi)通過(guò)多次蒸發(fā)與冷凝實(shí)現(xiàn)分離。例如，氬氣在精餾塔特定區(qū)域富集，經(jīng)粗氬塔預(yù)分離、加氫除氧、精氬塔精餾等步驟可獲高純度液氬。氖、氦、氪、氙等稀有氣體也通過(guò)類(lèi)似流程，從精餾塔不同部位抽取原料氣，經(jīng)濃縮、預(yù)分離、化學(xué)除雜、精餾等操作提純。此技術(shù)為稀有氣體在工業(yè)、科研等領(lǐng)域的應(yīng)用提供了重要支持。