隨著國民經(jīng)濟的飛速發(fā)展，深冷空分制氮設備已廣泛應用于石化、玻璃、輪胎、多晶硅、碳纖維等工業(yè)領域，制氮工藝流程由空氣壓縮及凈化、空氣分離、液氮汽化組成。

1、空氣的壓縮及凈化：空氣經(jīng)過濾器清除灰塵和機械雜質后，進入空氣壓縮機，壓縮至所需壓力，然后送入空氣冷卻塔，降低空氣溫度。再進入分子篩吸附裝置，除去空氣中的水份、二氧化碳、乙炔及其它碳氫化合物。

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2、空氣的分離：凈化后的空氣進入分餾塔中的主換熱器，被返流氣體（產(chǎn)品氮氣、廢氣）冷卻至飽和溫度，送入精餾塔底部，在塔頂部得到氮氣，液空經(jīng)節(jié)流后送入冷凝蒸發(fā)器蒸發(fā)，同時冷凝由精餾塔送來的部分氮氣，冷凝后的液氮一部分作為精餾塔的回流液，另一部分作為液氮產(chǎn)品出分餾塔。

由冷凝蒸發(fā)器出來的廢氣經(jīng)主換熱器復熱到約130K進膨脹機膨脹制冷，為分餾塔提供冷量，膨脹后的氣體一部分作為分子篩的再生和吹除用，然后經(jīng)消音器排入大氣。

3、液氮的氣化：由分餾塔出來的液氮進液氮貯槽貯存，當空分設備檢修時，貯槽內(nèi)的液氮進入汽化器被加熱后，送入產(chǎn)品氮氣管道。