空氣中除氧、氮外，還有少量的水蒸氣、二氧化碳、乙炔和其他碳氫化合物等氣體，以及少量的灰塵等固體雜質。進入空分設備的空氣首先需要清除一些雜質，水分、二氧化碳和乙炔，清除的方法最常用的是吸附法和凍結法。

吸附法就是用硅膠或分子篩等作吸附劑，把空氣中所含的水分、二氧化碳和乙炔，以及液空、液氧中的乙炔等雜質分離出來，濃聚在吸附劑的表面上(沒有化學反應)，加溫再生時再把它們趕掉，從而達到凈化的目的。例如設置干燥器、二氧化碳吸附器、液空吸附器、液氧吸附器。

凍結法就是空氣流經(jīng)蓄冷器或切換式換熱器時把其中所含的水分和二氧化碳凍結下來(乙炔不能凍結)，然后被干燥的返流氣體帶出裝置，即自清除。

采用分子篩凈化流程可用分子篩同時吸附清除空氣中的水分、二氧化碳和乙炔，使流程簡化，已在制氧機上普遍地被采用。