凈化后的空氣進入分餾塔，并通過主熱交換器與回流的污染氮，氧和氮進行熱交換。冷卻后，將其一小部分液化，將氣液混合空氣節(jié)流至0.55 MPa的壓力。塔經(jīng)過精餾，在下部塔的頂部獲得99.999％的純氮，然后進入主冷卻塔，并通過上部塔的液氧蒸發(fā)被冷凝成液氮。一部分液氮作為回流液返回下部塔，冷卻后將剩余的液態(tài)氮節(jié)流。進入上部塔頂部的噴霧器。底部釜液是含有38％氧氣的液態(tài)空氣。通過液空過冷器后，進入上塔中部參與精餾。同時，骯臟的液氮流從下部塔的中間抽出，然后作為回流液體進入上部塔。
從主熱交換器中間抽出的一部分空氣進入渦輪膨脹機進行絕熱膨脹，從而產(chǎn)生設備運行所需的大部分冷量。膨脹后的空氣通過熱虹吸熱交換器消除部分過熱，然后進入上塔的中部參與精餾。
處于不同狀態(tài)的四種流體進入上塔并再次分離，在上塔的頂部高純氮氣。液氮過冷器和主熱交換器從分餾塔再加熱到9℃左右后，上部塔底部的液氧吸收了主冷卻過程中下部塔氮冷凝產(chǎn)生的熱量蒸發(fā)。其中，主換熱器將純度為99.6％的氧氣再加熱至9℃左右。從分餾塔出來，其余部分用作上升蒸汽參與精餾。上部塔的上部仍然有含污氮氣通過液態(tài)空氣過冷器抽出，由主熱交換器再加熱后從分餾塔中排出。再生分子篩吸附器后對凈化系統(tǒng)進行排氣。
從主冷卻器底部將液氧抽取到氧液體量筒，分離蒸汽和液體并在量筒裝滿后迅速填充氧氣低溫液儲罐。制備液氮時，將液氮過冷器中的液氮注入氮氣液量筒后將量筒快速注入氮氣低溫液體儲罐中。蒸發(fā)后它為用戶提供氣態(tài)氮產(chǎn)品。合格的氧氣離開分餾塔后，通過壓縮氧氣系統(tǒng)對其加壓以供使用。
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